Поиск

Влияние режимов низкотемпературного отжига на структуру и элементный состав TiN покрытий

Авторы: Багрец, Д. А. Рубаник, В. В. Маркова, Л. В.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 621.785.3
Автор Багрец, Д. А.
Влияние режимов низкотемпературного отжига на структуру и элементный состав TiN покрытий
Текст
Место издания Гродно
Издательство ГрГУ им. Я. Купалы
Дата издания 2011
Ключевые слова термообработка
Другие авторы Рубаник, В. В.
Энерго- и материалосберегающие экологически чистые технологии
Гродно : ГрГУ им. Я. Купалы, 2011
С. 101-102
RU/IS/BASE/605184361
978-985-515-469-4