| Индекс УДК | 535.51 |
| Автор | Каменская, Н. Е. |
|
Переходные слои в кремниевой структуре Si[3]N[4]-SiO[2]-cSi Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | ГУ ВПО "Белорусско-Российский университет" |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Ключевые слова |
нитрид кремния оксид кремния диоксид кремния кремниевая электроника тонкие пленки переходные слои обработка подложек двухслойная электродинамическая модель Максвелла-Гарнетта-Бруггемана, модель модель Максвелла-Гарнетта-Бруггемана пленки нитрида кремния |
| Другие авторы | Стаськов, Н. И. |
