| Индекс УДК | 539.216.3 |
| Автор | Голосов, Д. А. |
|
Нанесение пленок стабилизированного иттрием диоксида циркония методом ВЧ магнетронного распыления Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2012 |
| Ключевые слова |
ВЧ магнетронное распыление диэлектрики диэлектрическая проницаемость легированный оксид циркония магнетронное распыление оксид циркония распыление керамической мишени стабилизированный оксид циркония |
| Другие авторы | Завадский, С. М. |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012 Кн. 1. - С. 55-62 RU/IS/BASE/605183427 978-985-6441-29-8 (кн. 1) |
