| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/609336332 |
| Дата корректировки | 12:05:32 23 апреля 2019 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.78.011 |
| Автор | Пугачев, К. Э. |
|
Влияние термообработки на морфологию поверхности пленок оксида вольфрама, осажденных на кремний Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил.. табл. |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
| Ключевые слова |
атомно-силовая микроскопия морфология поверхности термообработка кремний пленки оксида вольфрама кристаллизация аморфные пленки |
| Другие авторы | Ефименко, Л. П. |
| Другие авторы |
Морозова, А. А. Комлев, А. Е. Шаповалов, В. И. |
| Источник информации |
XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014 С. 148-149 RU/IS/BASE/605185673 978-5-98709-787-8 |
| Тип документа | b |
