Поиск

Структура и электрические свойства пленок состава LiNbO[3] на кремнии

Авторы: Сумец, М. П. Костюченко, А. В. Дыбов, В. А. Кузьмина, В. О.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/609247661
Дата корректировки 11:27:41 22 апреля 2019 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Служба первич. каталог. Боровик
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.793
Автор Сумец, М. П.
Структура и электрические свойства пленок состава LiNbO[3] на кремнии
Текст
Место издания Санкт-Петербург
Издательство ЛЕМА
Дата издания оригинала 2014
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Ключевые слова рентгеновская дифрактометрия
резерфордовское обратное рассеяние
электрические свойства
пленки
высокочастотное магнетронное распыление
Другие авторы Костюченко, А. В.
Другие авторы Дыбов, В. А.
Кузьмина, В. О.
Источник информации XXII Всероссийское совещание по неорганическим и органосиликатным покрытиям
Санкт-Петербург : ЛЕМА, 2014
С. 90
RU/IS/BASE/605185673
978-5-98709-787-8
Тип документа b