| Индекс УДК | 621.315.592.3 |
| Автор | Сидский, В. В. |
|
Зависимость структурных свойств ZnO:Al золь-гель пленок от концентрации Al Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Ключевые слова |
золь-гель пленки легирование полупроводники прозрачные проводящие оксиды оксид цинка тонкие пленки центрифугирование сканирующая зондовая микроскопия |
| Другие авторы | Семченко, А. В. |
