|
Физико-химические основы технологии монокристаллов Текст учебное пособие для студентов вузов по специальности 240306 "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники", 210104 "Микроэлектроника и ..." |
|
|
Ставрополь СевКавГТУ 2006 |
|
|
248 с. ил. |
