| Индекс УДК | 621.794 |
|
Неизотермическая газоразрядная плазма и ее применение в технологических процессах учебное пособие Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Ленинградский технологический институт им. Ленсовета, Кафедра технологии элекротермических и плазмохимических призводств Текст |
|
| Место издания | Ленинград |
| Издательство | ЛТИ |
| Дата издания оригинала | 1989 |
| Объем | 78, [2] с. |
| Аннотация | Рассмотрены электрические разряды в газах, генерирующие неизотермическую неравновесную низкотемпературную плазму; параметры газоразрядной плазмы и характерные химические процессы, протекающие в ней. Рассмотрены технологические процессы ионного распыления, ионноплазменного и плазмохимического травления. |
