| Индекс УДК | 621.382.049 |
|
Технология СБИС Текст [монография] : в 2 кн. под ред. С. Зи ; пер. с англ.: В. М. Звероловлева, канд. физ.-мат. наук В. Н. Лейкина, В. Б. Петрова, канд. техн. наук Б. Л. Эйдельмана ; под ред. д-ра техн. наук Ю. Д. Чистякова Кн. 1 |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | Мир |
| Дата издания оригинала | 1986 |
| Объем | 404 с. |
| Аннотация | В книге рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов. |
