| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/541077307 |
| Дата корректировки | 7:55:42 23 февраля 2017 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 0-85 |
| Служба первич. каталог. |
Лапко БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049.77.002 |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Г52 |
|
Глазков, Илья Михайлович И. М. Глазков |
|
|
Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем Текст [монография] ред. д-р техн. наук, проф. Э. И. Точицкий |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Наука и техника |
| Дата издания оригинала | 1981 |
| Объем | 143, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Аннотация | Книга посвящена процессу генерирования изображений в производстве интегральных микросхем, ставшему одним из основных процессов, определяющих дальнейшее развитие микроэлектроники. |
|
интегральные микросхемы генераторы изображений литография методы генерирования изображений оптические генераторы изображений электроннолучевые генераторы изображений микроэлектроника |
|
| Другие авторы | Райхман, Яков Аронович |
| Полное имя | Я. А. Райхман |
| Тип документа | m |
