Индекс УДК | 546.56:541.621:541.141.7 |
Автор | Воробьева, Т. Н. |
Осаждение из растворов многослойных пленок металлов на кремний Электронный ресурс Научно-исследовательский институт физико-химических проблем Белорусского государственного университета, Командно-инженерный институт МЧС |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БГУ |
Дата издания оригинала | 2011 |
Ключевые слова | кремниевые пластины |
Другие авторы | Кобец, А. В. |
Свиридовские чтения Минск : БГУ, 2011 Вып. 7. - 34-43 RU/IS/BASE/538487082 978-985-518-566-7 |