Индекс УДК | 531.7 |
Автор | Kafri, Oded |
The Physics of Moire Metrology Text |
|
Место издания | New York [etc.] |
Издательство | John Wiley and Sons |
Дата издания оригинала | [1990] |
Объем | 194 p. |
Аннотация | The present book is the first on the physics of the moire effect. |
Ключевые слова | оптическая метрология |
Другие авторы | Glatt, Ilana |