Атомная диффузия в полупроводниках
Шоу, Д.
Атомная диффузия в полупроводниках, под ред. Д. Шоу ; пер. с английского С. Н. Горина и О. В. Матвеева ; под ред. Г. Ф. Воронина и В. П. Зломанова
Москва :
Мир ,
1975 .-
684, [4] с. .-
ил
Парал. титул. л.: английский язык .-