Материалы для электроники. Методы получения и анализа, исследование свойств
Якушевская, Ф. Т., Комаров, В. П., Слатинская, И. Г., Кудренко, И. А., Бронников, А. Н., Лимарь, Т. Ф., Андрианов, Е. Г., Марковский, Е. В., Шевцова, Н. А., Бондаренко, С. К.
Материалы для электроники. Методы получения и анализа, исследование свойств, [Текст], сборник научных трудов, ВНИИРеактивэлектрон ; [редкол.: Климов В. В. (отв. ред.) и др.]
Москва :
НИИТЭХИМ ,
1981 .-
152 с. .-
ил., табл.
