Пленочные токопроводящие системы СБИС
Достанко, Анатолий Павлович, Баранов, Валентин Владимирович, Шаталов, Виктор Васильевич
Пленочные токопроводящие системы СБИС, [Текст], под ред. д-ра техн. наук, проф. Ю. Д. Чистякова
Минск :
Вышэйшая школа ,
1989 .-
237, [1] с. .-
ил., табл.