Исследование свойств алмазоподобных углеродных покрытий полученных методом химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы высокой плотности
Леонович, Н. В., Котов, Д. А., Товт, П. Д., Железнова, Е. К.
Исследование свойств алмазоподобных углеродных покрытий полученных методом химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы высокой плотности, [Электронный ресурс]
Минск :
[Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова] ,
2022 .-
ил.
RU/IS/BASE/730886717, Наноструктуры в конденсированных средах, Минск : [Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова], 2022, С. 118-123
