Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике
Емельянов, Виктор Андреевич, Рогачёв, Александр Владимирович, Рогачев, Александр Владимирович, Федосенко, Николай Николаевич, Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич
Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике, [Текст], [монография], Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения
Минск :
Беларуская навука ,
2014 .-
410, [1] с. .-
ил., табл., схем.
Авт. указаны на обороте тит. л. .-
