Технология изделий интегральной электроники
Ануфриев, Леонид Петрович, Гурский, Леонид Ильич (р. 1936), Ковальчук, Н. С., Коробко, А. О., Ланин, В. Л., Осипов, А. А., Портнов, Л. Я., Соловьев, Я. А., Солодуха, В. А., Становский, В. В.
Технология изделий интегральной электроники, [Текст], учебное пособие для студентов высших учебных заведений по специальностям "Проектирование и производство радиоэлектронных средств", "Электронно-оптические системы и технологии" , [Л. П. Ануфриев и др. ; под общей редакцией А. П. Достанко и Л. И. Гурского] ; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Филиал кафедры электронной техники и технологий на НПО "Интеграл"
Минск :
Амалфея ,
2010 .-
535, [1] с. .-
ил
