Механизмы формирования ямок в контактных окнах при термообработке структур Si (111)/SiO[2]/Al
Зеленин, В.А.
Механизмы формирования ямок в контактных окнах при термообработке структур Si (111)/SiO[2]/Al , [Текст]
Минск :
ФТИ НАН Беларуси ,
2020 .-
ил, табл.
Современные методы и технологии создания и обработки материалов, Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2020, Кн. 1. - С. 16-24, RU/IS/BASE/678216870, 978-985-6441-61-8 (кн. 1)
