Облученные гамма-квантами пленки позитивного резиста ФП9120 на пластинах монокристаллического кремния
Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С. , Черный, В. В.
Облученные гамма-квантами пленки позитивного резиста ФП9120 на пластинах монокристаллического кремния, [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 169-171, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
