Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства
Родионов, Юрий Анатольевич
Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства, учебное пособие для студентов учреждений высшего образования по специальностям "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", "Квантовые информационные системы", Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Факультет радиоэлектроники, Кафедра микро- и наноэлектроники, [Текст]
Минск :
БГУИР ,
2019 .-
297, [2] c. .-
ил., табл.
