Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов
Турцевич, Аркадий Степанович, Ануфриев, Леонид Петрович
Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов, Текст
Минск, Белорусская наука, 2006
231 с., ил.
