| Индекс УДК |
535.33 535.2/.3 |
|
Influence of helium ion implantation on optical properties of fused silica M. Zhong, J. H. Li, B. Li [et al.] |
|
| Аннотация | Высокочистый плавленый кварц имплантирован ионами гелия с энергией 60 кэВ потоком 1. 5*10{17} см{-2}. Исследовано влияние имплантации ионов гелия на оптические свойства образцов кремния до и после имплантации гелия с помощью инфракрасной, фотолюминесцентной и УФ-видимой спектрофотометрии. После имплантации ионов гелия результаты рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показывают, что пик Si 2p смещен в сторону более высокой энергии. Наблюдается полоса фотолюминесценции (ФЛ) на 500 нм, при этом интенсивность ФЛ значительно снижается. Однако интенсивности ИК-излучения и оптического поглощения значительно увеличиваются при имплантации ионов. Обсуждается механизм влияния имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 88, № 2. - С. 197-201 |
