| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | висмут |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 7. - С. 877-879 |
|
| Имя макрообъекта | Демидов_измерение |
