| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/680171428 |
| Дата корректировки | 8:48:37 21 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.07.47838.388 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Вольпяс, В. А. | |
|
Изменение элементного состава тонких пленок цирконата-титаната свинца в процессе ионно-плазменного осаждения: эксперимент и моделирование Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 16 назв. |
| Аннотация | Экспериментально исследовано изменение элементного состава тонких пленок PZT, полученных методом ВЧ магнетронного распыления при вариации давления рабочего газа. Интерпретация полученных экспериментальных результатов проведена на основе статистического моделирования процессов термализации и диффузии потоков распыленных атомов Pb, Zr и Ti при ионно-плазменном осаждении тонких пленок PZT. Показано, что результаты моделирования достаточно корректно (в пределах 5%) описывают изменение элементного состава при различных значениях давления газовой среды. Проведенные исследования позволяют получать тонкие пленки PZT с заданным элементным составом, что важно для оптимизации электрофизических свойств твердых растворов, относящихся к области морфотропной фазовой границы. |
| Ключевые слова | сегнетоэлектрики |
|
пленки тонкие пленки пленки PZT пленки цирконата-титаната свинца элементный состав ионно-плазменное осаждение |
|
| Другие авторы | Козырев, А. Б. |
|
Тумаркин, А. В. Долгинцев, Д. М. Пронин, В. П. Каптелов, Е. Ю. Сенкевич, С. В. Пронин, И. П. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 7. - С. 1282-1286 |
| Имя макрообъекта | Вольпяс_изменение |
| Тип документа | b |
