Модификация соотношения sp{2}/sp{3}-гибридного углерода в PECVD пленках DLC - Статьи - Базы данных - БГТУ

Модификация соотношения sp{2}/sp{3}-гибридного углерода в PECVD пленках DLC

Авторы: Юнин, П. А. Королёв, С. А. Краёв, С. А. Охапкин, А. И. Дроздов, М. Н. Королев, С. А. Архипова, Е. А. Краев, С. А. Дроздов, Ю. Н. Шашкин, В. И.

Подробная информация

Индекс УДК	621.315.592
	Модификация соотношения sp{2}/sp{3}-гибридного углерода в PECVD пленках DLC Электронный ресурс
Аннотация	Известно, что слои алмазоподобного углерода DLC (diamond-like carbon) состоят из фракций углерода как с "графитовой" sp{2}-гибридизацией электронных орбиталей, так и с "алмазной" sp{3}-гибридизацией. Количественное соотношение sp{2}- и sp{3}-фракций сильно влияет на структурные, морфологические, прочностные, оптические и электрофизические свойства пленок. В данной работе исследуется возможность управления долями sp{2}- и sp{3}-гибридного углерода в пленках DLC, полученных методом плазмохимического осаждения на подложках монокристаллического кремния и алмаза. Демонстрируются способы варьирования доли sp{3}-фракции как непосредственно in situ при получении пленки путем изменения мощности емкостного и индуктивно-связанного разрядов, так и ex situ с помощью термического отжига и электрического поля.
Ключевые слова	алмазоподобные углероды
	Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 9. - С. 855-858
Имя макрообъекта	Юнин_модификация