Поиск

Модель влияния смещения затвора при ионизирующем облучении МОП-структур

Авторы: Александров, О. В. Мокрушина, С. А.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/675524927
Дата корректировки 12:10:19 26 апреля 2025 г.
10.21883/FTP.2020.02.48902.9195
Служба первич. каталог. BY-HM0026
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Александров, О. В.
Модель влияния смещения затвора при ионизирующем облучении МОП-структур
Электронный ресурс
Model of influence of gate bias on MOS-structures at ionizing radiation
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 25 назв.
Аннотация Разработана новая количественная модель влияния смещения затвора при ионизирующем облучении на пороговое напряжение МОП-структур, базирующаяся на учете захвата дырок со всего объема подзатворного диэлектрика в тонком пограничном слое с безводородными и водородосодержащими ловушками на границе с кремниевой подложкой. Модель позволяет удовлетворительно описать плавный рост порогового напряжения с напряжением смещения на затворе - примерно линейный от дозы для поверхностной составляющей и нелинейный для объемной составляющей. Сдвиг порогового напряжения при отрицательном напряжении на затворе моделируется на основе учета генерации дырок в пограничном слое под действием ионизирующего облучения.
Ключевые слова ионизирующее облучение
МОП-структуры
оксидные ловушки
поверхностные состояния
моделирование
кремниевые подложки
Мокрушина, С. А.
Физика и техника полупроводников
2020
Т. 54, вып. 2. - С. 189-194
Имя макрообъекта Александров_модель влияния
Тип документа b