Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/675167427 |
Дата корректировки | 10:52:36 24 мая 2021 г. |
10.21883/FTT.2020.10.49916.093 | |
Служба первич. каталог. | Войтик |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 539.21 |
Иванов, В. В. | |
Квазистационарные процессы диэлектрической релаксации в тонких поликристаллических пленках PZT Электронный ресурс |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
Аннотация | Проведены исследования релаксационных процессов в поликристаллических пленках PZT, сформированных на кремниевых подложках при квазистатическом изменении внешнего электрического поля. Показано, что диэлектрическая релаксация характеризуется, по крайней мере, тремя временами релаксации, зависящими от направления самополяризации в пленке, величины поляризующего поля, а также от температуры отжига пленок PZT. |
Ключевые слова | тонкие пленки |
поликристаллические пленки пленки цирконата-титаната свинца цирконат-титанат свинца магнетронное распыление высокочастотное магнетронное распыление ВЧ магнетронное распыление релаксационные явления |
|
Другие авторы | Голубева, Е. Н. |
Сергеева, О. Н. Некрасова, Г. М. Пронин, И. П. Киселев, Д. А. |
|
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 62, вып. 10. - С. 1665-1669 |
Имя макрообъекта | Иванов_квазистационарные |
Тип документа | b |