Поиск

Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта

Авторы: Базаров, В. В. Бумай, Ю. А. Валеев, В. Ф. Головчук, В. И. Лукашевич, М. Г. Нуждин, В. И. Оджаев, В. Б. Харченко, А. А. Хайбуллин, Р. И.
Подробная информация
Индекс УДК 539.2
535.33
Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта
В. В. Базаров, Ю. А. Бумай, В. Ф. Валеев [и др.]
Аннотация Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200-1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2. 5 * 10{16}-1. 5 * 10{17}см {- 2} при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см2. Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1. 3-2. 1.
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 87, № 3. - С. 448-453