| Индекс УДК | 544.6 |
|
Влияние профиля выработки мишени на свойства пленок молибдена [Текст] А. М. Минкин [и др.] |
|
| Аннотация | Исследовано влияние профиля зоны распыления мишени на структуру и свойства пленок молибдена, полученных магнетронным распылением при стабилизации разряда по току и мощности. Показано, что полученные пленки характеризуются текстурой (110) и столбчатой микроструктурой по толщине. Изучены физико-механические свойства пленок (твердость, упругопластические характеристики). Наблюдается снижение пластичности пленок молибдена при увеличении выработки мишени. Показана взаимосвязь между параметрами осаждения пленки и скоростью ее анодного растворения в кислой среде с точки зрения микроструктуры молибдена. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 92, вып. 10. - С. 1263-1270 |
