Поиск

Лазерно-плазменный источник ионов с регулируемой энергией для нанесения нанопленок

Авторы: Гончаров, В. К. Василевич, А. Е. Ступакевич, В. Ю. Пузырев, М. В.
Подробная информация
Индекс УДК 533.9:621.373
Автор Гончаров, В. К.
Лазерно-плазменный источник ионов с регулируемой энергией для нанесения нанопленок
Текст
Другие авторы Василевич, А. Е.
Электроника инфо
2016
№ 11. - С. 54-57