Поиск

Термическая стабильность нанокристаллических пленок на основе системы "TiZrAlN", имплантированных ионами гелия

Авторы: Углов, В. В. Ровбуть, А. Ю. Злоцкий, С. В. Солодухин, И. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.793
Термическая стабильность нанокристаллических пленок на основе системы "TiZrAlN", имплантированных ионами гелия
Текст
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика
2015
№ 2. - С. 30-35