Химический и фазовый состав многослойных нанопериодических структур a-SiO[x]/ZrO[2], подвергнутых высокотемпературному отжигу
Боряков, А. В., Суродин, С. И., Николичев, Д. Е., Ершов, А. В.
Химический и фазовый состав многослойных нанопериодических структур a-SiO[x]/ZrO[2], подвергнутых высокотемпературному отжигу, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика твердого тела .-
2017 .-
Т. 59, вып. 6. - С. 1183-1191 .-
Боряков_химический