Структура и свойства пленок оксида галлия, полученных высокочастотным магнетронным напылением
Калыгина, В. М., Лыгденова, Т. З., Новиков, В. А., Петрова, Ю. С., Цымбалов, А. В., Яскевич, Т. М.
Структура и свойства пленок оксида галлия, полученных высокочастотным магнетронным напылением, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2019, Т. 53, вып. 3. - С. 411-417
Калыгина_структура
