Структурное и диэлектрическое исследование тонких аморфных слоев системы Ge-Sb-Te, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
Кастро Арата, Р. А., Стожаров, В. М., Долгинцев, Д. М., Кононов, А. А., Сайто, Ю., Фонс, П., Томинага, Дж., Анисимова, Н. И., Колобов, А. В.
Структурное и диэлектрическое исследование тонких аморфных слоев системы Ge-Sb-Te, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 2. - С. 149-152
Кастро Арата_структурное
